ウェハレベル CSP ボールマウンタ |
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8インチウェハに半田ボールを搭載するため、マシンビジョンを納入した装置(OEM)
・ウェハアライメント
・ボール搭載用アライメント
・ボール搭載前半田ボール配列検査
・ボール搭載後ウェハ上半田ボール配列検査
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12インチウェハ対応半田ボール検査ユニット |
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12インチウエハ上のボールの
・ボール有無
・余剰ボール
・位置ズレボール
を検出する画像ユニット
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磁気テープ巻き姿検査装置 |
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テープの巻き姿(高さ方向の飛び出し量)
を検査する装置
左側写真:インラインタイプ
右側写真:オフラインタイプ
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テスト光ディスク計測装置 |
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ディスクのピックアップテスト用の
彫りこみ傷、ドットインク印刷を施してある
ディスクの傷寸法、ドット径及び位置を
計測する装置
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